光刻烤膠機主要用于將光刻膠固定在硅片上，形成穩(wěn)定的電路結構。它是通過精確控制烤膠的溫度和時間，確保光刻膠能夠均勻、穩(wěn)定地附著在硅片上，從而提高產品的質量和可靠性。該設備被廣泛應用于集成電路制造、光電子器件制造、微納加工等領域。

　　光刻烤膠機的核心技術主要體現在其準確的光刻和烤膠工藝上。光刻工藝利用光化學反應將電路圖案精確地轉移到硅片上，而烤膠工藝則是將光刻膠固定在硅片上。光刻烤膠機通過高精度的光學系統和精密的機械結構，實現了對光刻和烤膠過程的精確控制，從而保證了電路圖案的準確性和一致性。

　　博大精科提供的HTL-350光刻烤膠機(晶圓烤膠機)板表面溫度均勻，溫度100℃以內，精度0.1~0.3°C，200℃以內，精度%0.5℃,可選帶有保溫蓋，整個加熱區(qū)形成一個保溫腔，大大提高溫度均勻度，也起到防塵作用。可選擇帶有負壓功能，表面帶有若干吸附孔，可使被加熱材料與加熱板表面緊密貼合，起到受熱均勻效果。